无色六方结晶。无臭无味。有吸潮性。相对密度2. 679。溶于乙醚等溶剂中，不溶于醇。在酸中的溶解度比在水中大。在碱液中分解，生成氟化物及二氧化硅。灼热(300℃上)后，分解成氟化钠和四氟化硅。有毒!

过磷酸钙副产法：由磷矿粉和硫酸反应生产过磷酸钙或萃取磷酸时逸出的含氟废气，用水吸收四氟化硅使成氟硅酸。当氟硅酸溶液的浓度达8%～10%时，静止澄清，除去杂质，澄清的氟硅酸
溶液中加入氯化钠（过量约25%）反应，生成氟硅酸钠，经离心分离、洗涤、300℃以下温度下进行气流干燥，再经粉碎，制得氟硅酸钠成品。